晶圆针测
任务
在许多情况下，还必须测试布置在SiPh（硅光子）晶圆上的光路。为此，使用居中布置的XY工作台来传送晶圆。尽管测试工具在许多情况下也具有多个自由度，但它无法覆盖整个晶圆表面。
解决方案
使用一套客户定制的XY系统，可围绕该系统布置多个测试工位来提高生产率。通过XY工作台进行粗定位，在多个6自由度对准系统中进行精定位。
优势
- 标配有用于执行取放任务的轴
- 可提供各种精度等级的定制解决方案
- 可开发和生产具有完整底座的XY工作台
- 集成的高分辨率测量系统可实现较高的位置稳定性，抖动量仅为几纳米。
